談起芯片就繞不開一個(gè)詞——光刻機(jī)。有人說制造一臺(tái)先進(jìn)的光刻機(jī)比造一顆原子彈還難，而談起光刻機(jī)就繞不開ASML（阿斯麥），先進(jìn)EUA光刻機(jī)唯一供應(yīng)商。
身為光刻機(jī)之王，ASML的崛起之路并不平坦。
第一次光刻機(jī)大戰(zhàn)：稱霸的美國(guó)人
1904年，弗萊明發(fā)明了真空二極管，標(biāo)志著人類進(jìn)入電子時(shí)代；
1947年，貝爾實(shí)驗(yàn)室三人組發(fā)明了晶體管，這一偉大的發(fā)明改變了人類歷史，晶體管的發(fā)明引發(fā)了電信和電腦等各方面的革命，隨之取代了真空管的地位。晶體管是所有電子產(chǎn)品的細(xì)胞，現(xiàn)代電腦芯片上有上億個(gè)微小的晶體管。
1959年，集成電路誕生。同年，傳奇公司GCA收購了David Mann；而在1961年David Mann推出了世界上第一臺(tái)光刻機(jī)——971型，這臺(tái)光刻機(jī)完全能夠滿足當(dāng)時(shí)晶體管的制造水平，IBM、太平洋半導(dǎo)體、IT以及飛利浦都在使用這款光刻機(jī)。
不少企業(yè)都想復(fù)制David Mann的成功，于是紛紛踏入光刻機(jī)市場(chǎng)，競(jìng)爭(zhēng)變得激烈。盡管如此，當(dāng)年的光刻機(jī)市場(chǎng)還是很小，當(dāng)時(shí)市面上只有兩種光刻機(jī)：接觸式光刻機(jī)和漸進(jìn)式光刻機(jī)，這兩種光刻機(jī)生產(chǎn)的芯片良率很低，因此芯片價(jià)格極高。
1974年，在美國(guó)軍方的支持下，Perkins Elmer推出了劃時(shí)代的光刻機(jī)——Micralign 100。光刻技術(shù)進(jìn)入了投影式時(shí)代。芯片良率大幅度提升，芯片價(jià)格隨之降低，英特爾、IT的訂單也隨之而來，Perkins Elmer成了當(dāng)時(shí)最大的半導(dǎo)體設(shè)備公司。
隨著芯片制程縮小，Perkins Elmer遲遲沒有開始下一代光刻機(jī)的研發(fā)，GCA憑著首臺(tái)搭載自動(dòng)化硅片工件臺(tái)的步進(jìn)式光刻機(jī)——DSW 4800奪回市場(chǎng)，尼康和佳能也后來居上。
80年代之前，光刻機(jī)的競(jìng)爭(zhēng)主要圍繞美國(guó)幾個(gè)廠商間進(jìn)行展開，美國(guó)人賺了第一桶金。
第二次光刻機(jī)大戰(zhàn)：逆襲的日本人
在美國(guó)的廠商們正激烈競(jìng)爭(zhēng)時(shí)，日本廠商悄然崛起。
1980年，尼康通過山寨GCA的光刻機(jī)，成功推出了自己的首臺(tái)步進(jìn)式光刻機(jī)，隨后在日本電氣和東芝的加持下，尼康不斷迭代更新技術(shù)，在1982年成功把光刻機(jī)賣給了IBM和IT。
尼康的NSR-1010G
外有尼康的競(jìng)爭(zhēng)，內(nèi)有光刻機(jī)產(chǎn)能問題，1984年GCA的出貨量被尼康打平。同年，佳能也推出了自己的首款步進(jìn)式光刻機(jī)FPA-1500FA。
僅一年時(shí)間，尼康正式超過GCA，成為全球第一大光刻機(jī)供應(yīng)商。
第三次光刻機(jī)大戰(zhàn)：崛起的歐洲人
在日美廠商競(jìng)爭(zhēng)白熱化的時(shí)候，歐洲也開始搞光刻機(jī)了。
飛利浦是歐洲最先研發(fā)光刻機(jī)的，1984年4月1日ASML脫胎飛利浦正式成立，但是在成立之后的10年間，ASML都不曾盈利。ASML第一任CEO賈特·斯密特決定開發(fā)新一代采用電動(dòng)晶圓臺(tái)的光刻機(jī)——PAS 2500。敢于挑戰(zhàn)，重視創(chuàng)新，通力合作，ASML推開了光刻機(jī)世界的大門！
1986年，ASML開始與蔡司進(jìn)行深入合作，改進(jìn)光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)，推出第二代PAS 2500，并第一次賣給了當(dāng)時(shí)還是初創(chuàng)公司的Cypress。與日本相比，ASML的光刻機(jī)還是不好賣，就連飛利浦都沒能拯救ASML，這時(shí)，臺(tái)積電來了。
時(shí)勢(shì)造英雄，兩個(gè)默默無聞的公司因飛利浦MEGA項(xiàng)目的失敗相遇了。1988年，臺(tái)積電的17臺(tái)光刻機(jī)訂單讓ASML勉強(qiáng)度過難關(guān)，讓ASML有精力繼續(xù)研究光刻機(jī)。于是ASML歷史上劃時(shí)代的作品誕生：PAS 5500，ASML翻身之作。1991年，ASML幾經(jīng)波折爭(zhēng)取到了IBM的訂單，有IBM在前驗(yàn)證，ASML的光刻機(jī)的實(shí)力被更多廠商肯定，三星、海力士的訂單隨之而來。1995年3月14日，ASML在美國(guó)納斯達(dá)克成功上市。
與尼康的世紀(jì)之戰(zhàn)即將打響！
一代設(shè)備，一代工藝。本世紀(jì)初，光刻機(jī)的波長(zhǎng)來到157nm，尼康一直在光源上做文章，專注于對(duì)157nm技術(shù)的研發(fā)，結(jié)果不盡人意。而ASML放棄了157nm，在臺(tái)積電的支持下，轉(zhuǎn)投其他新技術(shù)。2004年，ASML正式推出浸沒式光刻機(jī)的原型機(jī)；2006年，ASML的XT 1400i進(jìn)入英特爾并順利通過40nm工藝的驗(yàn)證，其余廠商紛紛選擇ASML的光刻機(jī)，尼康推出的157nm的光刻機(jī)無人問津。
ASML的第一臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)XT 1400i
2009年，ASML擁有近7成的市場(chǎng)份額，遠(yuǎn)超對(duì)手尼康。2010年，ASML誕生出人類第一臺(tái)EUV工程樣機(jī)：NXE 3100，2012年收購Cymer，加大對(duì)EUV的研發(fā)力度，2018年，正式商用版的EUV光刻機(jī)NXE 3300開始出貨。
本次光刻機(jī)之戰(zhàn)，尼康落敗，ASML開啟封王之路。光刻機(jī)領(lǐng)域，ASML占到90%以上。
芯片制程縮小至3nm，對(duì)EUA光刻技術(shù)的要求會(huì)更加嚴(yán)苛，新技術(shù)還得看ASML。
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